描述:
MKS Baratron 电容式薄膜压力计是一款高端高精度绝对真空/压力传感器,是半导体真空工艺设备的行业标准。基于专利电容式膜片传感技术,它可提供与气体类型无关的压力读数,完全不受工艺气体成分影响。广泛匹配 AMAT、LAM Research 及主流晶圆制造平台,为刻蚀、CVD、PVD、ALD 以及气体输送系统提供超稳定闭环压力控制,确保半导体制造中腔体真空精度的一致性并提升生产良率。
主要规格:
- 顶级精度高达±0.25%读数,超高分辨率0.01%满量程,具备优异的长期稳定性和极低漂移,以满足严格的半导体工艺要求MKS。
- 膜片及接触介质部件采用 Inconel® / Incoloy® 镍合金或 316L 不锈钢全焊接结构,可耐受腐蚀性特种工艺气体。出厂前100%检漏测试,确保在严苛等离子环境中的安全运行。
- 覆盖超高真空到高压范围:0.1 mTorr ~ 3000 PSIA。加热型型号(可选45℃ / 100℃)可有效防止挥发性工艺介质冷凝,避免测量偏差。
应用:
- 半导体工厂设备:AMAT Centura/Endura,LAM Kiyo/2300 刻蚀系统
- 薄膜沉积、等离子刻蚀及离子注入的精密真空控制
- MFC气柜、真空泵系统、泄漏检测及压力安全联锁
- 太阳能光伏、LED镀膜、制药真空工艺及实验室高精度真空测试
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3: 产品的交货时间是多少?是否有充足库存?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认时间安排。
Q4:运输与追踪
A:提供DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码+链接。全流程由我方团队监控。
Q5:包装与安全
A:采用原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备木箱)。具备防潮与抗冲击能力。