描述:
MKS Baratron 电容式压力计是高端高精度的绝对真空/压力传感器,是半导体真空工艺设备的行业标准。基于专利电容式隔膜传感技术,可提供与气体类型无关的压力读数,完全不受工艺气体成分影响。广泛适配 AMAT、LAM Research 以及主流晶圆制造平台,为刻蚀、CVD、PVD、ALD 及气体输送系统提供超稳定的闭环压力控制,确保腔体真空精度一致并提升半导体制造的良率。
关键规格:
- 最高精度可达 ±0.25% 读数,超精细分辨率 0.01% 满量程,具备卓越的长期稳定性和极低漂移,以满足严格的半导体工艺要求MKS.
- 隔膜及接触介质部件采用 Inconel® / Incoloy® 镍合金或 316L 不锈钢,并采用全焊接结构,可耐受腐蚀性特种工艺气体。出厂前 100% 进行泄漏测试,确保在严苛等离子环境中的安全运行。
- 覆盖从超高真空到高压:0.1 mTorr ~ 3000 PSIA。加热型型号(可选 45℃ / 100℃)可有效防止挥发性工艺介质冷凝,避免测量偏差。
应用领域:
- 半导体晶圆厂设备:AMAT Centura/Endura,LAM Kiyo/2300 刻蚀系统
- 用于薄膜沉积、等离子刻蚀和离子注入的精密真空控制
- MFC 气体柜、真空抽气系统、泄漏检测及压力安全联锁
- 光伏、LED 镀膜、制药真空工艺以及实验室高精度真空测试
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
答:全新正品,含 1 年质保。
Q2:付款方式是什么?
答:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
答:常规型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客户服务获取具体时间。
Q4:运输与追踪
答:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号 + 链接。由我们团队进行全流程跟踪监控。
Q5:包装与安全
答:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备木箱)。防潮与抗冲击。