描述:
这是一个原装 Applied Materials (AMAT) ESC HV 高压电源模块,是用于半导体晶圆加工设备中静电吸盘(Electrostatic Chuck, ESC)系统的核心电源单元。该产品在美国设计和制造,可为静电吸盘提供精确控制的高压直流输出,确保在蚀刻、CVD、PVD及其他真空工艺过程中晶圆稳定、均匀夹持。
关键规格:
- OEM AMAT 质量:原始设计,美国制造,适用于 24/7 晶圆厂运行的长期可靠性
- 精密高压输出:0~±2kV(双极)/ 0~10kV(单极)可调;精度 ≤±0.5% FS,纹波 ≤50Vpp
- 稳定且纯净电源:低噪声、严格负载调整率,针对 ESC 吸附均匀性优化
- 集成安全保护:过压、过流、短路和过温保护;高压联锁符合 SEMI S2 标准
- 即插即用替换:可直接兼容 AMAT Centura、Producer、Endura 平台;无需任何硬件更改
- 多种零件号:覆盖 200mm/300mm ESC 应用(0010-11239、0190-17029 等)
典型应用:
- 半导体晶圆刻蚀(Centura)
- CVD 沉积(Producer)
- PVD/ALD 工艺(Endura)
- 静电吸盘(ESC)晶圆夹持
- 真空等离子体工艺设备
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品,包含 1 年质保。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多少?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认交期。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号和链接。由我方团队进行全流程跟踪。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡棉、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮防震。