描述:
AMAT ESC电源是一款高压、高精度电源,专为应用材料(Applied Materials)半导体设备中的静电卡盘(ESC)设计。它提供稳定的双极性直流高压,用于在刻蚀、沉积和离子注入过程中可靠夹持晶圆,确保极高的温度与等离子体均匀性控制。作为关键OEM备件,它与AMAT的200mm/300mm晶圆加工系统完全兼容,并支持在高真空、高温以及射频等离子体环境中的长期无故障运行。
关键规格:
- 原始AMAT规格,具备完美的机械与电气兼容性。无需任何改造即可直接替换。
- 支持库仑型和 Johnsen-Rahbek(JR)两种ESC类型;极性可反转,便于灵活工艺调节。
- 紧凑节省空间的设计,效率高(>85%)。易于集成到现有设备机架中。
- 标准DB9/DB15、RS-232/485或以太网接口,用于远程监控、参数设置和数据记录。
- 经过严格测试并认证,可用于AMAT Centura、Producer、Endura和Quantum系列系统。具有较长MTBF(平均无故障时间)。
应用:
- 刻蚀系统:Centura、Producer、ExAL
- 沉积系统:Precision 5000、Endura(CVD/PVD/ALD)
- 离子注入机:Quantum Leap、Quantum X
- 200mm / 300mm晶圆工厂:大批量生产与维护
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品,包含1年保修。
Q2:付款条款是什么?
A:支持电汇(T/T)、PayPal。
Q3:产品的交货时间是多久?是否有足够库存?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需要向制造商订购——请联系客服获取具体周期。
Q4:运输与追踪
A:提供DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号和链接。由我们的团队进行全流程监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮防震。