描述:
AMAT ESC 电源是一款高压、高精度电源,专为 Applied Materials 半导体设备中的静电吸盘(ESC)设计。它提供稳定的双极性直流高压,在刻蚀、沉积和离子注入过程中牢固夹持晶圆,确保极其均匀的温度与等离子体控制。作为关键的 OEM 备件,它与 AMAT 的 200mm/300mm 晶圆加工系统完全兼容,并支持在高真空、高温以及 RF 等离子体环境下的长期、故障安全运行。
主要规格:
- 原始 AMAT 规格,机械与电气完全兼容。无需任何改装即可直接替换。
- 支持库仑型和 Johnsen-Rahbek(JR)两种 ESC 类型;极性可反转,便于灵活工艺调节。
- 节省空间的设计,效率高(>85%)。可轻松集成到现有设备机架中。
- 标准 DB9/DB15、RS-232/485 或以太网接口,用于远程监控、参数设置和数据记录。
- 经过严格测试并通过认证,适用于 AMAT Centura、Producer、Endura 和 Quantum 系列系统。具有较长的 MTBF(平均无故障时间)。
应用:
- 刻蚀系统:Centura、Producer、ExAL
- 沉积系统:Precision 5000、Endura(CVD/PVD/ALD)
- 离子注入机:Quantum Leap、Quantum X
- 200mm / 300mm 晶圆厂:大规模生产与维护
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新原装正品,含 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、PayPal。
Q3:产品的交货时间是多少?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认交期。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及链接。由我方团队全程跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:采用原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮、防冲击。