描述:
AMAT Inficon 真空阀是 Applied Materials(AMAT)真空和气体输送系统中的关键任务组件,由 Inficon 设计和制造,用于在高真空(HV)和超高真空(UHV)半导体工艺中实现可靠性能。它们用于隔离腔室、控制气体流量、维持真空完整性,并在刻蚀(etch)、PVD、CVD、ALD 和 load-lock 应用中防止交叉污染。常见 AMAT 零件号包括 0190-23498、0190-46389、0190-07970,Inficon 型号如 VAP040-Z、VAM025A。
关键规格:
- Inficon 真空阀,Applied Materials(AMAT)的 OEM
- 超低泄漏率 ≤1×10⁻⁹ atm·cc/s He,兼容 UHV
- 型号:VAP040-Z, VAM025A, VAH040;AMAT 零件号:0190-23498, 0190-46389
- 316L 不锈钢阀体,电解抛光;Kalrez®/金属密封可选
- 气动/电磁驱动;≤0.5 秒响应,≥100万次循环
应用:
- 半导体刻蚀:介电、导体和硅刻蚀腔室隔离。
- 沉积(PVD/CVD/ALD):工艺气体管路控制和 load-lock 隔离。
- 真空处理:传输腔室、load lock 和泵管路隔离。
- AMAT 平台:Centura, Endura, Producer, ExAL(200mm/300mm 晶圆厂)。
- 先进制程节点:7nm–3nm 工艺、3D NAND 和 GAA 器件。
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新原装正品,包含 1 年保修。
Q2:付款条款是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品交付时间是多久?是否有足够库存?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客户服务获取具体时间。
Q4:运输与追踪
A:提供 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码和链接。我方提供全流程监控服务。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱)。具备防潮与抗冲击能力。