描述:
AMAT 真空传感器是 Applied Materials (AMAT) 真空与工艺控制系统中的关键组件,专为在粗真空、中真空、高真空及超高真空(UHV)环境中测量和监测压力而设计。它们确保工艺稳定性,防止交叉污染,并在刻蚀(etch)、PVD、CVD、ALD 以及装载锁(load-lock)应用中实现精确的压力控制。常见 AMAT 料号包括 0190-48891、3310-00437、C190238,以及来自 MKS、Inficon 和其他可信品牌的 OEM 型号。
关键规格:
- AMAT 真空传感器,Applied Materials 半导体设备的 OEM 配件。
- 精密测量:从粗真空到超高真空范围(760–1×10⁻¹¹ Torr)。
- 型号:0190-48891、3310-00437、C190238;MKS/Inficon OEM。
- 316L 不锈钢(SS)主体,电解抛光;模拟/数字输出选项。
- 快速响应 ≤100 ms;双灯丝设计以提高可靠性。
- 适用于 AMAT Centura/Endura 刻蚀/PVD/CVD 系统。
- 全新 / 翻新 / 测试过的库存备件,均提供保修。
应用:
- 半导体刻蚀:介电、导体和硅刻蚀腔体压力监测。
- 沉积(PVD/CVD/ALD):工艺气体管路及腔体真空控制。
- 真空传输:传输腔、装载锁(load lock)及泵管路压力测量。
- AMAT 平台:Centura、Endura、Producer、ExAL(200mm/300mm 晶圆厂)。
- 先进制程节点:7nm–3nm 工艺、3D NAND 及 GAA 器件。
常见问题:
Q1:产品情况和保修如何?
A:全新正品。包含 1 年保修。
Q2:付款条件是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多少?是否有充足库存?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需要向厂家订购——请联系客服了解具体时间。
Q4:运输与物流跟踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接。全流程由我们的团队监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮与抗冲击。