描述:
AMAT Inficon 真空阀是 Applied Materials (AMAT) 真空和气体输送系统中的关键组件,由 Inficon 设计和制造,用于在高真空(HV)和超高真空(UHV)半导体工艺中实现可靠性能。它们用于隔离腔室、控制气体流量、维持真空完整性,并防止在刻蚀、PVD、CVD、ALD 和负载锁应用中的交叉污染。常见的 AMAT 零件编号包括 0190-23498、0190-46389、0190-07970,Inficon 型号包括 VAP040-Z、VAM025A。
关键规格:
- Inficon 真空阀,Applied Materials (AMAT) 的 OEM
- 超低泄漏率 ≤1×10⁻⁹ atm·cc/s He,兼容超高真空(UHV)
- 型号:VAP040-Z、VAM025A、VAH040;AMAT P/N:0190-23498、0190-46389
- 316L 不锈钢阀体,电解抛光;Kalrez®/金属密封可选
- 气动/电磁驱动;≤0.5 秒响应,≥100万次循环
应用:
- 半导体刻蚀:介电、导体和硅刻蚀腔室隔离。
- 沉积(PVD/CVD/ALD):工艺气体管路控制和负载锁(load-lock)隔离。
- 真空处理:传输腔、负载锁和泵管路隔离。
- AMAT 平台:Centura、Endura、Producer、ExAL(200mm/300mm 晶圆厂)。
- 先进制程节点:7nm–3nm 工艺、3D NAND 和 GAA 器件。
常见问题:
Q1:产品情况和保修如何?
A:全新正品,包含1年保修。
Q2:付款条款是什么?
A:支持 T/T、PayPal。
Q3:产品交货时间是多少?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客服了解时间周期。
Q4:运输与追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号 + 链接。由我们的团队进行全流程监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密部件的木箱)。防潮、防冲击。