描述:
AMAT真空传感器是Applied Materials (AMAT)真空与工艺控制系统中的关键组件,专为在粗真空、中真空、高真空及超高真空(UHV)环境中测量和监测压力而设计。它们可确保工艺稳定性,防止交叉污染,并在刻蚀、PVD、CVD、ALD以及装载锁(load-lock)应用中实现精确的压力控制。常见AMAT零件号包括0190-48891、3310-00437、C190238,并提供来自MKS、Inficon及其他可信品牌的OEM型号。
关键规格:
- AMAT真空传感器,Applied Materials半导体设备的OEM产品。
- 精密测量:从粗真空到超高真空范围(760–1×10⁻¹¹ Torr)。
- 型号:0190-48891、3310-00437、C190238;MKS/Inficon OEM。
- 316L不锈钢本体,电解抛光;模拟/数字输出选项。
- 快速响应≤100 ms;双灯丝设计以提高可靠性。
- 适用于AMAT Centura/Endura刻蚀/PVD/CVD系统。
- 全新/翻新/测试过的库存产品,带保修。
应用:
- 半导体刻蚀:介电、导体和硅刻蚀腔室压力监测。
- 沉积(PVD/CVD/ALD):工艺气体管线和腔室真空控制。
- 真空传输:传输腔、装载锁和泵管线压力测量。
- AMAT平台:Centura、Endura、Producer、ExAL(200mm/300mm晶圆厂)。
- 先进制程节点:7nm–3nm工艺、3D NAND及GAA器件。
常见问题:
Q1:产品情况和保修如何?
A:全新正品。包含1年保修。
Q2:付款条款是什么?
A:支持电汇(T/T)、Paypal。
Q3:产品交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有现货,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客服确认时间。
Q4:运输与追踪
A:支持DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接。全流程由我们团队监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮防冲击。