描述:
AMAT真空传感器是Applied Materials (AMAT) 真空和工艺控制系统中的关键组件,专为在粗真空、中真空、高真空和超高真空(UHV)环境中测量和监控压力而设计。它们确保工艺稳定性,防止交叉污染,并在蚀刻、PVD、CVD、ALD和负载锁(load-lock)应用中实现精确的压力控制。常见AMAT零件号包括0190-48891、3310-00437、C190238,OEM型号来自MKS、Inficon及其他可信品牌。
关键规格:
- AMAT真空传感器,Applied Materials半导体设备的OEM产品。
- 精密测量:粗真空到超高真空范围(760–1×10⁻¹¹ Torr)。
- 型号:0190-48891、3310-00437、C190238;MKS/Inficon OEM。
- 316L不锈钢主体,电解抛光;模拟/数字输出选项。
- 快速响应≤100 ms;双灯丝设计以提高可靠性。
- 适用于AMAT Centura/Endura蚀刻/PVD/CVD系统。
- 全新/翻新/测试过的库存产品,带保修。
应用:
- 半导体蚀刻:介电层、导体和硅蚀刻腔室压力监测。
- 沉积(PVD/CVD/ALD):工艺气体管路和腔室真空控制。
- 真空处理:传输腔、负载锁和泵管路压力测量。
- AMAT平台:Centura、Endura、Producer、ExAL(200mm/300mm晶圆厂)。
- 先进制程节点:7nm–3nm工艺、3D NAND和GAA器件。
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含1年保修。
Q2:付款条件是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多少?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需要向制造商订购——请联系客服获取时间安排。
Q4:运输与物流跟踪
A:支持DHL/FedEx/UPS。发货后提供跟踪号+链接。由我们的团队进行全流程监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮与抗冲击。