描述:
The AMAT AKT Backplane(也称为 VMEbus backplane、chamber control backplane 或 P2 backplane)是 Applied Materials AKT PECVD、CVD 和 PVD 系统中的关键基础设施组件。它作为主要的电源与信号分配主干,使系统 CPU、控制板、I/O 模块以及工艺腔体子系统(气体、压力、RF、温度)之间实现无缝通信。该 AKT backplane 面向大面积显示与先进半导体晶圆厂设计,在严苛制造环境下确保信号完整性、抗噪能力以及长期可靠性。
关键规格:
- AMAT AKT VMEbus 半导体 backplane
- AKT CVD/PVD 系统的中央电源与信号枢纽
- 高速 VMEbus 通信,工业级 PCB
- 兼容 25K/55K/60K/100K 平台(Gen7–Gen11)
- EMI 屏蔽、镀金触点以提升可靠性
应用:
- 半导体制造:晶圆级 CVD/PVD 工艺控制
- 显示与面板:Gen7–Gen11 TFT-LCD、OLED 以及大面积玻璃加工
- 光伏与太阳能:薄膜沉积设备
- 真空与等离子:AKT PECVD、PVD 以及刻蚀系统
常见问题:
Q1:产品情况和保修如何?
A:全新正品,包含 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?是否有充足库存?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需要向厂家订购——请联系客服获取具体周期。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号和链接。全流程由我们的团队跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱)。防潮、防冲击。