描述:
AMAT MKS-CITI(也写作 MKS-CIT)是一款紧凑型、高可靠性的工艺与通信控制器,由 Applied Materials (AMAT) 与 MKS Instruments 联合开发,用于半导体真空与气体输送系统。最常见的料号为 0190-22543(型号 AS00224-03,通常称为 FI Controller Rev 002)。它作为 AMAT 工艺设备(刻蚀/CVD/PVD)与 MKS 质量流量控制器、压力传感器以及阀模块之间的接口,在真空及严苛晶圆厂环境下实现精确的气体/流体调节。
关键规格:
- 100 × 60 × 25 mm,约 0.1 kg;金属外壳,抗振动/抗 EMI;工作温度范围 -20°C 至 +70°C。
- 内置高速处理器;16 路数字输入 / 8 路输出;用于压力/流量闭环控制的模拟 I/O。
- 原生支持 Modbus RTU/TCP、RS-485、DeviceNet;可选 Ethernet/IP 与 Profinet,用于 AMAT Centura/Endura 集成。
- 低放气材料;符合 CE、UL/cUL 60950、RoHS 标准;内置诊断与纠错功能。
应用:
- AMAT Centura、Endura、AKT CVD 系统
- 半导体刻蚀、CVD、PVD、ALD 工艺腔体
- MKS 气体流量控制(MFC)与压力调节子系统
- 真空腔体 I/O、加热器与阀门控制回路
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品,包含 1 年保修。
Q2:付款条件是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服获取时间表。
Q4:运输与追踪
A:可选 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号 + 链接。由我方团队进行全流程监控。
Q5:包装与安全
A:采用原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱)。防潮、防冲击。