描述:
AMAT MKS-CITI(也写作 MKS-CIT)是一款紧凑型高可靠性工艺与通信控制器,由 Applied Materials(AMAT)与 MKS Instruments 联合开发,用于半导体真空与气体输送系统。最常见的料号为 0190-22543(型号 AS00224-03,通常称为 FI Controller Rev 002)。它作为 AMAT 工艺设备(刻蚀/CVD/PVD)与 MKS 质量流量控制器、压力传感器及阀门模块之间的接口,确保在真空及严苛晶圆厂环境下实现精确的气体/流体调节。
关键规格:
- 100 × 60 × 25 mm,约 0.1 kg;金属外壳,抗振动/EMI;-20°C至+70°C工作温度范围。
- 嵌入式高速处理器;16路数字输入 / 8路输出;模拟 I/O 用于压力/流量闭环控制。
- 原生 Modbus RTU/TCP、RS-485、DeviceNet;支持 Ethernet/IP 与 Profinet 选项,用于 AMAT Centura/Endura 集成。
- 低释气材料;符合 CE、UL/cUL 60950、RoHS 规范;内置诊断与错误校正功能。
应用:
- AMAT Centura、Endura、AKT CVD 系统
- 半导体刻蚀、CVD、PVD、ALD 工艺腔室
- MKS 气体流量控制(MFC)与压力调节子系统
- 真空腔体 I/O、加热器及阀门控制回路
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新原装正品,提供 1 年保修。
Q2:付款方式有哪些?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购,请联系客户服务了解具体时间。
Q4:运输与追踪
A:提供 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及查询链接,全流程由我方跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:采用原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱),具备防潮与抗冲击能力。