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全新 ASML SERV.502.27023 激光模块

全新 ASML SERV.502.27023 激光模块

全新 ASML SERV.502.27023 激光模块

高精度，稳定性能

适用于工业自动化

现货 & 全球快速配送

  • 货号:

    SERV.502.27023

  • 订单(最小起订量):

    1

  • 支付:

    100% T/T

  • 产品产地:

    Netherlands

  • 颜色:

    As Model

  • 装运港口:

    Xiamen

  • 交货时间：

    2-3 days
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  • 产品详情

描述：

原装 ASML 激光模块，用于 DUV/EUV 光刻系统。集成激光发射器、光学元件及控制电子设备，实现超精密光束生成、校准及计量。先进制程半导体制造的关键 OEM 组件。
 
 
主要规格：
  1. 超高精度与稳定性：光束定位精度达到纳米级；波长稳定性 ≤ ±0.01 nm；支持 7nm/5nm/3nm 先进制程。
  2. 多波长兼容性：覆盖 DUV（193nm ArF / 248nm KrF）和 EUV（13.5nm）光谱；可选红外（10.6μm CO₂）用于 EUV 泵浦激光器。
  3. 集成光学设计：内置高端透镜、镜子、光栅及分束器；实时光束校正（≤0.5 nm RMS），保证曝光一致性。
  4. 智能电子控制：板载激光驱动器、温控器及功率调节；根据工艺需求动态调整功率（10%–100%）。
  5. 洁净室级可靠性：全密封设计，符合 ISO 1 级洁净室标准；全天候运行，漂移最小；关键电路三重冗余。
  6. 高速同步：脉冲频率高达 100 kHz；时间同步误差
 

 

典型应用：

  1. DUV 浸没式光刻（TWINSCAN NXT:2000i/2100i）
  2. EUV 光刻（NXE:3400B / EXE:5200）
  3. 晶圆计量与检测系统
  4. 光掩膜/光罩对准与检测
  5. 先进半导体工艺研发

 

 

常见问题：

问1：产品状况和保修如何？
答：全新正品。包含 1 年保修。

问2：付款方式是什么？
答：支持电汇（T/T）和 Paypal。

问3：产品交货时间多久？库存充足吗？
答：标准型号有现货，付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需厂家订购——请联系客户服务确认时间。

问4：运输与跟踪
答：可选择 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及跟踪链接。我方团队全程监控运输。

问5：包装与安全

 

答：原装品牌包装，强化保护（泡沫、密封纸箱、精密设备用木箱）。防潮防冲击。

 

 

相关标签 : Industrial equipment Automation components Laser Module
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