描述:
Brooks PRI 晶圆搬运机器人控制器是由 Brooks Automation(美国)为半导体制造设计的高精度、洁净室级运动控制系统。作为 Brooks PRI 晶圆搬运机器人的核心控制单元,它们可在半导体晶圆厂中实现对 150mm、200mm 和 300mm 晶圆的精确、可靠且无污染的传输,是 EFEM(设备前端模块,Equipment Front-End Module)和工艺设备自动化的关键组成部分。
关键规格:
- 产地与应用:美国制造的控制器,专用于半导体洁净室自动化,完美适用于 150mm、200mm 和 300mm 晶圆搬运,作为 EFEM 和前端生产系统的核心控制单元。
- 高精度性能:配备多轴伺服控制和微米级定位精度,可在大气与真空环境中实现稳定、高速且无损伤的晶圆传输。
- 良好兼容性:符合 ESD 及严格的洁净室标准。支持 SECS/GEM 和 Ethernet,便于与工厂主机系统连接。
- 可靠运行:经过现场验证,可 24 小时不间断运行。是用于维护、替换和升级老旧半导体生产线的可靠且高性价比选择。
典型应用:
- 实现 FOUP 上下料及晶圆预对准自动化
- 在刻蚀、沉积和光刻工艺中进行晶圆传输
- 支持晶圆测试、检测与计量流程
- 适用于生产线、研发及中试洁净室项目
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认交期。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号及链接,全流程由我们团队监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备采用木箱)。防潮防震。