描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原厂高性能 OEM 控制单元,作为等离子刻蚀、CVD/PVD 沉积以及晶圆加工系统的“大脑”。按照半导体级工业标准构建,可实现实时精密控制、超稳定运行,并在 24/7 无尘室环境中实现无缝系统集成。采用加固硬件、ECC 内存、冗余电源以及先进散热设计,确保零数据丢失、一致的工艺重复性,并将先进制程(2nm/3nm)晶圆制造中的非计划停机降至最低。作为 LAM Research 原厂正品部件,它们保证完美兼容性、即插即用的便捷替换,以及在晶圆厂维护、升级和备件需求中的长期可靠性。
关键规格:
- 原装控制器/工业 PC,与 LAM 刻蚀设备、沉积系统及晶圆加工工具 100% 兼容;出厂已校准并测试。
- 为洁净室/7×24 小时运行环境加固设计;配备 ECC 内存、冗余电源、先进热管理;工艺控制精度 ±0.05%。
- 强大 CPU 支持复杂工艺算法;高速 I/O、双以太网以及符合 SEMI 标准的协议,实现与 MES/设备的无缝集成。
- 扩展温度范围(-20°C 至 +60°C),防尘、防振;非常适用于等离子、真空及高纯工艺区域。
- 模块化即插即用设计;直接替换可减少停机时间;是晶圆厂、OEM 和半导体服务提供商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子刻蚀系统(如 Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、去胶及工艺模块
- 2nm/3nm 先进制程逻辑与存储晶圆厂
- 半导体生产线及真空/等离子加工系统
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品,包含 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品交期如何?是否有充足库存?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客户服务获取时间安排。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码和链接。我方全流程监控。
Q5:包装与安全
A:采用原厂品牌包装,并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱)。防潮防冲击。