描述:
LAM Research 光纤光谱仪是集成于半导体晶圆加工设备中的高精度光学监测设备。主要与专业光学模块配套,采用光纤传输设计,用于采集工艺腔室内等离子体发射、反射和透射光谱。广泛用于刻蚀终点检测、薄膜计量以及实时等离子体状态监测,这些设备可确保稳定的工艺性能,提高生产良率并减少在刻蚀、CVD、PVD及其他真空制造工艺中的不良品。作为原厂OEM兼容组件,它们具有优异的兼容性和长期可靠性,适用于LAM全系列工艺设备。
关键规格:
- 配备高灵敏度 CCD/PMT 探测器,提供出色的光谱分辨率和低噪声。覆盖紫外-可见波长范围,以满足多样化的半导体工艺监测需求。
- 标准 SMA 光纤接口支持长距离信号传输。可在高真空、高温和等离子体环境中稳定工作的真空兼容探针。
- 实时光谱分析可实现精确的刻蚀终点判断、薄膜厚度及光学性质测量,有效避免过刻蚀和欠刻蚀。
- 内置 Ethernet 和 RS-232 通信端口,完全兼容 LAM 设备协议,实现无缝数据交互和系统联动。
- 结构紧凑且坚固,具备抗振动和抗干扰能力。支持 24/7 连续运行并便于现场快速更换。
典型应用:
- 等离子体刻蚀系统、CVD、PVD 和 ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆刻蚀过程终点检测
- 原位薄膜厚度及反射率测量
- 真空工艺腔室的实时等离子体状态分析
- LAM Research 2300、9400、ExAL及其他主流工艺平台
常见问题:
Q1:产品情况和保修如何?
A:全新正品。包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3: 产品的交货时间是多久?是否有充足库存?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需要向厂家订购——请联系客服了解具体时间。
Q4:发货与物流追踪
A:支持DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码+链接。由我们的团队进行全流程监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮、防冲击。