描述:
Lam Research 电极和绝缘体部件是半导体刻蚀、沉积和等离子体处理设备中的关键耗材和结构部件。电极用于产生并维持稳定的等离子体,以用于晶圆制造;而高性能绝缘体则用于隔离电路和部件,防止漏电、电弧和短路。这些部件由专用半导体级材料制成,具有优异的电阻特性、热稳定性以及抗等离子体侵蚀能力。它们在高真空、高温和强射频环境下可靠运行,确保工艺腔室长期稳定运行以及稳定的生产良率。所有产品均为正品 OEM 部件,与 Lam Research 晶圆加工工具完全兼容。
关键规格:
- 电极采用高纯导电材料,绝缘体采用高等级陶瓷/石英材料,在抗等离子体腐蚀方面具有出色的耐久性。
- 电极确保等离子体分布均匀;绝缘体提供优异的绝缘强度,避免放电故障和设备损坏。
- 可耐受高温、热冲击和机械应力,在 24/7 连续运行过程中保持精确尺寸和性能。
- 采用高精度公差加工,与原始设备结构完美匹配,实现无缝安装和稳定工艺结果。
- 完全兼容 Lam 刻蚀机、CVD、PVD 及相关真空系统。易于更换,以最大限度减少生产停机时间。
典型应用:
- Lam Research 等离子刻蚀系统
- CVD、PVD 和 ALD 薄膜沉积设备
- 200mm / 300mm 晶圆工艺腔室
- 半导体生产线维护和备件更换
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需要向厂家订购——请联系客户服务了解时间安排。
Q4:发货与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号 + 链接。由我们的团队进行全流程跟踪。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密部件的木箱)。防潮与抗冲击。