描述:
Lam Research 电极和绝缘部件是半导体刻蚀、沉积及等离子体处理设备中的关键耗材和结构组件。电极用于产生并维持稳定等离子体,以用于晶圆制造;高性能绝缘件用于隔离电路与部件,防止电气泄漏、电弧及短路。这些部件采用专用半导体级材料制成,具备优异的电阻性能、热稳定性以及抗等离子体侵蚀能力。它们可在高真空、高温及强射频环境下可靠运行,确保工艺腔室长期稳定工作并保持一致的生产良率。所有产品均为原厂(OEM)正品部件,与 Lam Research 晶圆加工设备完全兼容。
关键规格:
- 采用高纯导电材料用于电极,以及高等级陶瓷/石英用于绝缘件,在抵抗等离子体腐蚀方面表现出卓越耐久性。
- 电极确保等离子体分布均匀;绝缘件提供更高的绝缘强度,以避免放电故障和设备损坏。
- 可承受高温、热冲击和机械应力,在 24/7 连续运行期间保持精确尺寸和性能。
- 采用严格公差加工,与原始设备结构完美匹配,实现无缝安装和稳定工艺结果。
- 与 Lam etchers、CVD、PVD 及相关真空系统完全兼容。易于更换,以最大限度减少生产停机时间。
典型应用:
- Lam Research 等离子刻蚀系统
- CVD、PVD 和 ALD 薄膜沉积设备
- 200mm / 300mm 晶圆工艺腔室
- 半导体生产线维护及备件更换
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含1年质保。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认周期。
Q4:发货与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号与链接。全程由我方团队跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮防震。