描述:
LAM Research 光纤光谱仪是集成于半导体晶圆加工设备中的高精度光学监测设备。主要搭配专业光学模块使用,采用光纤传输设计,用于捕获工艺腔体内等离子体发射、反射和透射光谱。广泛应用于刻蚀终点检测、薄膜计量以及实时等离子体状态监测,这些设备可确保稳定的工艺性能,提高生产良率并减少在刻蚀、CVD、PVD及其他真空制造过程中的不良品。作为原厂OEM兼容部件,它们对 LAM 全系列工艺设备具有良好的兼容性和长期可靠性。
关键规格:
- 配备高灵敏度 CCD/PMT 探测器,提供出色的光谱分辨率和低噪声性能。覆盖紫外-可见波长范围,满足多样化半导体工艺监测需求。
- 标准 SMA 光纤接口支持远距离信号传输。真空兼容探头可在高真空、高温及等离子体环境中稳定工作。
- 实时光谱分析可实现精确的刻蚀终点判断、薄膜厚度及光学特性测量,有效避免过刻蚀和欠刻蚀。
- 内置 Ethernet 和 RS-232 通信接口,完全兼容 LAM 设备协议,实现无缝数据交互与系统联动。
- 结构紧凑坚固,具备抗振动与抗干扰能力。支持 24/7 连续运行,并便于现场更换。
典型应用:
- 等离子体刻蚀系统、CVD、PVD 及 ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆刻蚀过程的终点检测
- 原位薄膜厚度与反射率测量
- 真空工艺腔体的实时等离子体状态分析
- LAM Research 2300, 9400, ExAL 及其他主流工艺平台
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含 1 年质保。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多少?库存是否充足?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认时间。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及链接。全流程由我方跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:采用原厂包装并加强防护(泡棉、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮防震。