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全新 Lam Research 810-495659-400 ESC 电源板

全新 Lam Research 810-495659-400 ESC 电源板

全新 Lam Research 810-495659-400 ESC 电源板

高精度,稳定性能

适用于工业自动化

现货供应,全球快速发货

  • 货号:

    810-495659-400
  • 订单(最小起订量):

    1
  • 支付:

    100% T/T
  • 产品产地:

    USA
  • 颜色:

    As Model
  • 装运港口:

    Xiamen
  • 交货时间:

    2-3 days
  • 产品详情

描述:

这是用于 LAM Research Electrostatic Chuck (ESC) 的原装 OEM 电源板,是半导体刻蚀机和沉积系统中的关键部件。它通过静电力在真空腔体内提供稳定的高压直流电压,使晶圆牢固吸附。采用高等级电子元件和抗干扰电路设计,在高真空、高温及强射频干扰环境下仍保持卓越性能,确保晶圆定位一致性,并在 24/7 连续运行中实现稳定的生产良率。它是半导体晶圆厂设备维护中可靠的替换部件。
 
 
 
主要规格:
  1. 完全兼容 LAM Research 的刻蚀、CVD 和 PVD 设备。经过严格工厂测试与校准,实现完美匹配。
  2. 具备超低纹波和稳定电流输出。闭环控制可抵消射频干扰,保持恒定夹持力。
  3. 配备过压、过流、过温及电弧检测保护功能。一旦异常可立即切断电源,保护晶圆和设备。
  4. 针对严苛的洁净室和真空环境优化设计,具备抗振动、耐高温及抗电磁干扰能力,确保长寿命运行。
  5. 标准结构与专用接口设计,可直接替换使用,大幅降低设备停机时间与维护成本。
 

 

典型应用:

  1. LAM Research 等离子刻蚀系统
  2. CVD、PVD 及 ALD 薄膜沉积设备
  3. 200mm / 300mm 晶圆真空加工腔室
  4. 半导体生产线维护及备件更换

 

 

常见问题:

Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品,含 1 年保修。

Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。

Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认交期。

Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及链接,由我方全程跟踪。

Q5:包装与安全

 

A:采用原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱)。防潮、防震抗冲击。

 

 

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