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全新 Lam Research 839-101612-885 ESC 静电吸盘

全新 Lam Research 839-101612-885 ESC 静电吸盘

全新 Lam Research 839-101612-885 ESC 静电吸盘

高精度、稳定性能

适用于工业自动化

现货供应 & 全球快速交付

  • 货号:

    839-101612-885

  • 订单(最小起订量):

    1

  • 支付:

    100% T/T

  • 产品产地:

    USA

  • 颜色:

    As Model

  • 装运港口:

    Xiamen

  • 交货时间：

    2-3 days
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  • 产品详情

描述：

Lam Research 静电卡盘（ESC）是半导体真空工艺设备的关键组件。它利用静电力在工艺腔室内牢固夹持晶圆，确保在刻蚀、沉积及其他制造步骤中的稳定定位。采用优质材料与精密结构设计，提供均匀夹持力、优异导热性以及出色耐用性。可在高真空、高温及等离子环境下可靠运行，有助于保持一致的工艺性能与高生产良率。原厂OEM正品确保与 Lam Research 晶圆加工设备的完美兼容。
 
 
 
关键规格：
  1. 提供均匀且稳定的静电吸附力，使晶圆牢固固定，避免在操作过程中发生位移。
  2. 优化的导热设计可实现有效的晶圆温度控制，确保工艺结果均匀一致。
  3. 适用于高真空、宽温度范围及等离子环境，支持长期7×24小时连续运行。
  4. 严格的制造公差确保优异的表面平整度，满足先进半导体工艺要求。
  5. 与 Lam Research 刻蚀及沉积系统完全兼容，易于安装与更换，可减少停机时间。
 

 

典型应用：

  1. Lam Research 等离子刻蚀系统
  2. CVD、PVD 和 ALD 薄膜沉积设备
  3. 200mm / 300mm 晶圆真空工艺腔室
  4. 半导体制造产线及设备维护

 

 

常见问题：

Q1：产品状态和保修情况如何？
A：全新原装正品，提供1年保修。

Q2：付款方式有哪些？
A：支持 T/T、Paypal。

Q3：产品交货时间是多久？是否有充足库存？
A：标准型号有现货，付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购，请联系客户服务确认交期。

Q4：运输与物流追踪
A：提供 DHL/FedEx/UPS 运输方式。发货后提供追踪号码及链接，全程由团队监控物流进度。

包装与安全

 

A：采用原厂品牌包装，并配备加强防护（泡沫、密封纸箱，精密设备使用木箱）。具备防潮与抗冲击保护。

 

 

相关标签 : Industrial equipment Automation components ESC Electrostatic Chuck
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