描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原装高性能 OEM 控制单元,作为等离子刻蚀、CVD/PVD 沉积以及晶圆加工系统的“大脑”。采用半导体级工业标准打造,在 24/7 无尘室环境中提供实时精密控制、超稳定运行以及无缝系统集成。配备加固硬件、ECC 内存、冗余电源和先进热设计,可确保零数据失误、稳定一致的工艺重复性,并将先进制程节点(2nm/3nm)晶圆制造的非计划停机降至最低。作为正品 LAM Research 零部件,它们保证完美兼容、即插即用替换以及长期可靠性,满足晶圆厂维护、升级和备件需求。
关键规格:
- 原装控制器/工业电脑,与 LAM 刻蚀机、沉积系统及晶圆加工设备 100% 兼容;出厂校准并经过测试。
- 为无尘室/24/7 运行加固设计;ECC 内存、冗余电源、先进热管理;±0.05% 工艺控制精度。
- 强大的 CPU 用于复杂工艺算法;高速 I/O、双以太网以及符合 SEMI 标准的协议,实现与 MES/设备的无缝集成。
- 扩展温度范围(-20°C 至 +60°C),防尘、防震;非常适用于等离子、真空及高纯工艺区域。
- 模块化即插即用设计;直接替换可减少停机时间;是晶圆厂、OEM 和半导体服务提供商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子刻蚀系统(Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、去胶及工艺模块
- 2nm/3nm 先进制程逻辑与存储晶圆厂
- 半导体制造产线及真空/等离子加工系统
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品,包含 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?是否有充足库存?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需要向制造商订购——请联系客户服务获取具体时间。
Q4:运输与追踪
A:可使用 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码 + 链接。全流程由我们的团队监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备采用木箱)。防潮、防冲击。