描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原装高性能OEM控制单元,作为等离子刻蚀、CVD/PVD沉积和晶圆加工系统的“大脑”。按半导体级工业标准制造,它们在24/7洁净室环境中提供实时精密控制、超稳定运行以及无缝系统集成。采用加固硬件、ECC内存、冗余电源和先进热设计,确保零数据丢失、一致的工艺重复性以及在先进制程节点(2nm/3nm)晶圆制造中的最小非计划停机时间。作为正品 LAM Research 零部件,它们保证完美兼容、即插即用更换便捷,并为晶圆厂维护、升级和备件需求提供长期可靠性。
关键规格:
- 原装控制器/工业PC,与LAM刻蚀机、沉积系统及晶圆加工设备100%兼容;出厂校准并测试。
- 适用于洁净室/24/7运行的加固设计;ECC内存、冗余电源、先进热管理;±0.05%工艺控制精度。
- 强大的CPU用于复杂工艺算法;高速I/O、双以太网,以及符合SEMI标准的协议,实现MES/设备无缝集成。
- 扩展温度(-20°C至+60°C),防尘、防振;适用于等离子、真空及高纯工艺区域。
- 模块化即插即用设计;直接替换可减少停机时间;是晶圆厂、OEM及半导体服务商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research等离子刻蚀系统(Kiyo系列等)
- CVD/PVD/ALD薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、去胶及工艺模块
- 2nm/3nm先进制程逻辑与存储晶圆厂
- 半导体制造产线及真空/等离子加工系统
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品。包含1年质保。
Q2:付款方式是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客服了解时间安排。
Q4:运输与物流追踪
A:支持DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接。由我们的团队进行全流程跟踪。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备采用木箱)。防潮、防冲击。