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全新 Lam Research 853-800085-025 VME 机箱

全新 Lam Research 853-800085-025 VME 机箱

全新 Lam Research 853-800085-025 VME 机箱

高精度、稳定性能

适用于工业自动化

有现货 & 全球快速发货

  • 货号:

    853-800085-025
  • 订单(最小起订量):

    1
  • 支付:

    100% T/T
  • 产品产地:

    USA
  • 颜色:

    As Model
  • 装运港口:

    Xiamen
  • 交货时间:

    2-3 days
  • 产品详情

描述:

原装 VME64x 控制机箱,作为 Lam Research 等离子刻蚀机的中央控制单元,适用于 2300 KIYO、Exelan Flex、Versys、TCP 9600 和 Rainbow 系列。设计为 6U 19” 机架式安装机箱,配备 12 插槽 VME64x 背板,可容纳 CPU、RF 匹配、真空 I/O、运动控制以及 EPD 终点检测板卡,用于管理刻蚀配方、等离子参数以及设备安全联锁。
 
 
 
关键规格:
  1. 用于刻蚀机的 OEM Lam Research VME 机箱
  2. 兼容:2300 KIYO、Flex、Versys、TCP 9600、Rainbow
  3. 外形尺寸:6U,19” 机架,12 插槽 VME64x 背板
  4. 集成:CPU、RF、真空 I/O、运动控制、EPD 控制板
  5. 精度:1μs 时序同步,±1% 刻蚀速率稳定性
  6. 结构:重型铝制,EMI 屏蔽,洁净室安全
 

 

典型应用:

  1. 半导体晶圆厂的等离子刻蚀过程控制
  2. 200mm / 300mm 晶圆制造(逻辑芯片、DRAM、3D NAND)
  3. 大规模量产与先进制程研发

 

 

常见问题:

Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品,包含 1 年保修。

Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、PayPal。

Q3:产品的交货时间是多久?是否有充足库存?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认时间。

Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号和链接。全流程由我方团队监控。

Q5:包装与安全

 

A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮、防冲击。

 

 

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