描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原装高性能 OEM 控制单元,作为等离子刻蚀、CVD/PVD 沉积以及晶圆加工系统的“大脑”。按照半导体级工业标准打造,可在 24/7 无尘室环境中提供实时精密控制、超稳定运行以及无缝系统集成。采用加固硬件、ECC 内存、冗余电源和先进散热设计,确保数据零丢失、工艺重复性一致,并将先进制程节点(2nm/3nm)晶圆制造中的非计划停机降至最低。作为原装 LAM Research 部件,它们保证完全兼容、即插即用替换的便捷性,以及在晶圆厂维护、升级和备件需求中的长期可靠性。
关键规格:
- 原装控制器/工业电脑,与 LAM 刻蚀机、沉积系统及晶圆加工设备 100% 兼容;已在工厂完成校准与测试。
- 为无尘室/7×24 小时运行加固设计;ECC 内存、冗余电源、先进热管理;工艺控制精度 ±0.05%。
- 强大的 CPU 支持复杂工艺算法;高速 I/O、双以太网,以及符合 SEMI 标准的协议,实现 MES/设备无缝集成。
- 扩展温度范围(-20°C 至 +60°C),防尘、防震;非常适用于等离子、真空及高纯工艺区域。
- 模块化即插即用设计;直接替换可减少停机时间;是晶圆厂、OEM 和半导体服务提供商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子刻蚀系统(Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、去胶及工艺模块
- 2nm/3nm 先进制程逻辑与存储芯片晶圆厂
- 半导体制造产线及真空/等离子处理系统
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、PayPal。
Q3: 产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认时间。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接,全流程由我方团队监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮、防冲击。