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全新 Lam Research 98008SA6F3P3 质量流量控制器

全新 Lam Research 98008SA6F3P3 质量流量控制器

全新 Lam Research 98008SA6F3P3 质量流量控制器

高精度、稳定性能

适用于工业自动化

现货 & 全球快速发货

  • 货号:

    98008SA6F3P3
  • 订单(最小起订量):

    1
  • 支付:

    100% T/T
  • 产品产地:

    USA
  • 颜色:

    As Model
  • 装运港口:

    Xiamen
  • 交货时间:

    2-3 days
  • 产品详情

描述:

LAM Research 的 MFC 是半导体制造中关键的核心组件,旨在在 LAM 的蚀刻、灰化和沉积系统中以卓越的精度调节气体流量。专为满足 5nm–7nm 节点制造的严格要求而设计,这些控制器能够保持稳定的气体供应,直接影响晶圆均匀性、良率和工艺稳定性。无论是氟化蚀刻气体、惰性载气还是反应性沉积气体,LAM MFC 都能在 24/7 洁净室环境中提供可靠且可重复的性能。
 
 
主要规格:
  1. LAM Research 原厂质量流量控制器 (MFC)
  2. ±1% 满量程精度,纳米级工艺重复性 ±0.1%
  3. 流量范围:10 sccm–10 slm;兼容 NF₃、HBr、O₂、N₂、Ar
  4. 接口:模拟 (0–5V/4–20mA)、DeviceNet、EtherCAT
  5. 润湿部件为 316L 不锈钢/PTFE;1/4" VCR 接头
 

 

典型应用:

  1. 半导体蚀刻:介电层、导体和硅蚀刻工艺(2300 Versys, TCP9600)
  2. 沉积 (CVD/PVD):先进节点的薄膜沉积
  3. 等离子工艺:灰化、去除及表面处理
  4. 晶圆制造:200mm/300mm 晶圆厂,5nm–7nm 工艺

 

 

常见问题:

问1:产品状况和保修如何?
答:全新正品。含 1 年保修。

问2:付款条件是什么?
答:支持电汇 (T/T) 和 Paypal。

问3:产品交货时间多久?库存充足吗?
答:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需厂家订购——请联系客户服务获取时间表。

问4:运输与追踪
答:可使用 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码及链接。我们的团队全程监控。

问5:包装与安全

 

答:原厂品牌包装,带加固保护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱)。防潮、防撞击。

 

 

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