描述:
LAM Research 光纤光谱仪是集成于半导体晶圆加工设备中的高精度光学监测装置。主要搭配专业光学模块,采用光纤传输设计,用于捕获工艺腔室内的等离子体发射、反射和透射光谱。广泛用于刻蚀终点检测、薄膜计量以及实时等离子体状态监测,这些设备可确保工艺运行稳定性,提高生产良率并减少在刻蚀、CVD、PVD及其他真空制造工艺中的不良品。作为原始OEM兼容组件,它们具有与 LAM 全系列工艺设备的卓越兼容性和长期可靠性。
关键规格:
- 配备高灵敏度 CCD/PMT 探测器,提供出色的光谱分辨率和低噪声。覆盖紫外-可见光波长范围,满足多样化半导体工艺监测需求。
- 标准 SMA 光纤接口支持远距离信号传输。兼容真空环境的探针可在高真空、高温及等离子体环境中稳定工作。
- 实时光谱分析可实现精确的刻蚀终点判断、薄膜厚度及光学特性测量,有效避免过刻蚀和欠刻蚀。
- 内置 Ethernet 和 RS-232 通信端口,完全兼容 LAM 设备协议,实现无缝数据交互与系统联动。
- 紧凑且坚固的结构,具备抗振动和抗干扰能力。支持 24/7 连续运行及便捷的现场更换。
典型应用:
- 等离子体刻蚀系统、CVD、PVD 及 ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆刻蚀工艺终点检测
- 原位薄膜厚度及反射率测量
- 真空工艺腔室的实时等离子体状态分析
- LAM Research 2300、9400、ExAL 及其他主流工艺平台
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品,含 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客户服务了解具体时间。
Q4:运输与追踪
A:提供 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码及链接,全流程由我方团队监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备木箱)。防潮防震抗冲击。