描述:
MKS Baratron®(电容式压力计)是在真空系统中实现与气体无关的真实压力测量的行业黄金标准。不同于会随气体类型变化的Pirani(皮拉尼)或热导式仪表,Baratron 传感器通过高精度隔膜以单位面积受力的方式测量压力,无论工艺气体(N₂、Ar、O₂、腐蚀性刻蚀气体)如何变化,都能提供准确、可重复的读数。该产品专为24/7晶圆厂运行设计,是半导体、显示、光伏(PV)及工业真空工艺中的主要压力传感器。
关键规格:
- MKS Baratron® 电容式压力计,气体无关真空计
- 真实绝对压力测量,±0.08–0.5% 精度
- 量程:0.02–20,000 Torr;加热型(45–100°C)可选
- 输出:0–10 VDC 模拟信号;EtherCAT/DeviceNet 数字信号
- 全焊接 Inconel 材质,内置吸气剂泵以实现长期稳定性
- 紧凑型,气密密封;高过压耐受能力
- Common PN: 722B11TGA2FA, DA01B12TCES24A, 626A01TBE
- 全新 / 翻新 / 已测试库存,带保修
应用:
- 半导体:刻蚀、PECVD、ALD、溅射、离子注入
- 显示与光伏:TFT-LCD、OLED、薄膜沉积
- 真空镀膜:PVD、CVD、金属化
- 工业真空:泄漏测试、冷冻干燥、灭菌
- 科研:超高真空(UHV)系统、表面科学、等离子体物理
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品,包含1年保修。
Q2:付款条件是什么?
A:支持电汇(T/T)、Paypal。
Q3:产品交货时间是多久?是否有充足库存?
A:标准型号有现货,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服获取具体时间。
Q4:运输与追踪
A:支持DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接。由我方团队全程跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮、防冲击。