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全新 MKS Baratron E28H.1TBF1B 电容式压力计

全新 MKS Baratron E28H.1TBF1B 电容式压力计

全新 MKS Baratron E28H.1TBF1B 电容式压力计

高精度，稳定性能

适用于工业自动化

现货供应 & 全球快速发货

  • 货号:

    E28H.1TBF1B

  • 订单(最小起订量):

    1

  • 支付:

    100% T/T

  • 产品产地:

    USA

  • 颜色:

    As Model

  • 装运港口:

    Xiamen

  • 交货时间：

    2-3 days
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  • 产品详情

描述：

MKS Baratron 电容式压力计是高端高精度绝对真空/压力传感器，是半导体真空工艺设备的行业标准。基于专利电容式隔膜传感技术，可实现与气体类型无关的压力读数，完全不受工艺气体成分影响。广泛适配 AMAT、LAM Research 及主流晶圆制造平台，为蚀刻、CVD、PVD、ALD 及气体输送系统提供超稳定的闭环压力控制，确保腔体真空精度一致性，并提升半导体制造的生产良率。
 
 
 
关键规格：
  1. 最高精度可达读数的 ±0.25%，超精细分辨率 0.01% 满量程，具备卓越的长期稳定性与极低漂移，满足严格的半导体工艺要求MKS。
  2. 隔膜及接触介质部件采用 Inconel® / Incoloy® 镍基合金或 316L stainless steel，全焊接结构设计，耐腐蚀特种工艺气体。出厂前 100% 气密性检测，确保在严苛等离子环境下安全运行。
  3. 覆盖从超高真空到高压范围：0.1 mTorr ~ 3000 PSIA。加热型型号（45℃ / 100℃ 可选）可有效防止挥发性工艺介质冷凝，避免测量偏差。
 
 
 

应用领域：

  1. 半导体工厂设备：AMAT Centura/Endura、LAM Kiyo/2300 蚀刻系统
  2. 用于薄膜沉积、等离子蚀刻和离子注入的精密真空控制
  3. MFC 气体柜、真空泵送系统、泄漏检测及压力安全联锁
  4. 太阳能光伏、LED 涂层、制药真空工艺以及实验室高精度真空测试

 

 

常见问题：

Q1：产品状况和保修如何？
A：全新原装正品，含 1 年质保。

Q2：付款方式是什么？
A：支持 T/T、Paypal。

Q3：产品的交货时间是多久？库存是否充足？
A：标准型号有库存，付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认周期。

Q4：发货与物流追踪
A：支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接，全流程由我方团队跟踪监控。

Q5：包装与安全

 

A：原厂包装并加强防护（泡沫、密封纸箱，精密设备使用木箱），防潮防震。

 

 

相关标签 : Industrial equipment Automation components Capacitance Manometer
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