描述:
AMAT ESC 电源是一款高压、高精度电源,专为 Applied Materials 半导体设备中的 Electrostatic Chucks(ESCs)设计。它提供稳定的双极性直流高压,用于在刻蚀、沉积和离子注入过程中牢固夹持晶圆,确保超均匀的温度与等离子体控制。作为关键 OEM 备件,它与 AMAT 的 200mm/300mm 晶圆加工系统完全兼容,并支持在高真空、高温和 RF 等离子体环境中的长期、失效安全运行。
关键规格:
- 原装 AMAT 规格,具备完美的机械与电气兼容性。无需改动即可直接替换。
- 支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek (JR) 两种 ESC 类型;极性可反转,便于灵活工艺调节。
- 节省空间的设计,高效率(>85%)。易于集成到现有设备机架中。
- 标准 DB9/DB15、RS-232/485 或 Ethernet 接口,用于远程监控、参数设置和数据记录。
- 经过严格测试并认证,可用于 AMAT Centura、Producer、Endura 和 Quantum 系列系统。MTBF(平均无故障时间)长。
应用:
- 刻蚀系统:Centura、Producer、ExAL
- 沉积系统:Precision 5000、Endura(CVD/PVD/ALD)
- 离子注入机:Quantum Leap、Quantum X
- 200mm / 300mm 晶圆工厂:大规模生产与维护
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新原装正品,包含 1 年保修。
Q2:付款条件是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多少?是否有充足库存?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客户服务了解具体周期。
Q4:运输与追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码 + 链接。由我们的团队进行全流程监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装,并进行加固防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮、防冲击。