描述:
AMAT ESC 电源是一款高压、高精度电源,专为应用材料公司(Applied Materials)半导体设备中的静电吸盘(ESCs)设计。它提供稳定的双极性直流高电压,用于在刻蚀、沉积和离子注入工艺过程中牢固夹持晶圆,确保超均匀的温度与等离子体控制。作为关键的OEM备件,它与AMAT的200mm/300mm晶圆加工系统完全兼容,并支持在高真空、高温和射频等离子体环境中的长期、失效安全运行。
关键规格:
- 原装AMAT规格,完美的机械与电气兼容性。无需改装即可直接替换。
- 支持库仑型(Coulombic)和约翰森-拉贝克(Johnsen-Rahbek, JR)两种ESC类型;可逆极性,便于灵活工艺调节。
- 节省空间的高效设计(>85%)。可轻松集成到现有设备机架中。
- 标准DB9/DB15、RS-232/485或以太网接口,用于远程监控、参数设置和数据记录。
- 经过严格测试并认证,适用于AMAT Centura、Producer、Endura和Quantum系列系统。具有较长的平均无故障时间(MTBF)。
应用领域:
- 刻蚀系统:Centura、Producer、ExAL
- 沉积系统:Precision 5000、Endura(CVD/PVD/ALD)
- 离子注入机:Quantum Leap、Quantum X
- 200mm / 300mm晶圆工厂:大批量生产与维护
常见问题:
Q1:产品状态和保修情况如何?
A:全新正品,包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3:产品的交付时间是多久?是否有充足库存?
A:标准型号有现货,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客服获取时间表。
Q4:运输与追踪
A:提供DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码+链接。全流程由我方团队监控。
Q5:包装与安全
A:采用原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备木箱)。防潮防冲击。