描述:
AMAT ESC 电源是一种高压、高精度电源,专为应用材料(Applied Materials)半导体设备中的静电吸盘(ESCs)设计。它提供稳定的双极直流高压,用于在刻蚀、沉积和离子注入工艺过程中牢固夹持晶圆,从而确保超均匀的温度与等离子体控制。作为关键的 OEM 备件,它与 AMAT 的 200mm/300mm 晶圆加工系统完全兼容,并支持在高真空、高温及 RF 等离子体环境中的长期无故障运行。
关键规格:
- 原装 AMAT 规格,具备完美的机械与电气兼容性。无需改装即可直接替换。
- 支持电容式(Coulombic)和约翰逊-拉贝克(Johnsen-Rahbek,JR)两种 ESC 类型;支持极性反转,便于工艺灵活调节。
- 紧凑型节省空间设计,效率高(>85%)。易于集成到现有设备机柜中。
- 标准 DB9/DB15、RS-232/485 或以太网接口,用于远程监控、参数设置与数据记录。
- 经过严格测试并认证,可用于 AMAT Centura、Producer、Endura 和 Quantum 系列系统。具有较长的平均无故障时间(MTBF)。
应用:
- 刻蚀系统:Centura、Producer、ExAL
- 沉积系统:Precision 5000、Endura(CVD/PVD/ALD)
- 离子注入机:Quantum Leap、Quantum X
- 200mm / 300mm 晶圆厂:高产量生产与维护
常见问题:
Q1:产品状态和保修情况如何?
A:全新正品,包含 1 年质保。
Q2:付款方式是什么?
A:支持电汇(T/T)、PayPal。
Q3: 产品的交货时间是多少?是否有足够库存?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客户服务了解具体周期。
Q4:运输与物流跟踪
A:提供 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及链接。全流程由我方团队监控。
Q5:包装与安全性
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备用木箱)。具备防潮与抗冲击保护。