描述:
AMAT Inficon 真空阀是应用材料公司(AMAT)真空和气体输送系统中的关键任务级组件,由 Inficon 设计和制造,用于在高真空(HV)和超高真空(UHV)半导体工艺中实现可靠性能。它们用于隔离腔室、控制气体流量、维持真空完整性,并防止在刻蚀、PVD、CVD、ALD 和装载锁应用中的交叉污染。常见 AMAT 料号包括 0190-23498、0190-46389、0190-07970,以及 Inficon 型号如 VAP040-Z、VAM025A。
关键规格:
- Inficon 真空阀,应用材料公司(AMAT)的 OEM
- 超低泄漏率 ≤1×10⁻⁹ atm·cc/s He,兼容 UHV
- 型号:VAP040-Z、VAM025A、VAH040;AMAT 料号:0190-23498、0190-46389
- 316L 不锈钢本体,电解抛光;Kalrez®/金属密封选项
- 气动/电磁驱动;≤0.5 秒响应,≥100 万次循环
应用:
- 半导体刻蚀:介电层、导体及硅刻蚀腔室隔离。
- 沉积(PVD/CVD/ALD):工艺气体管路控制与装载锁隔离。
- 真空处理:传输腔、装载锁及泵管路隔离。
- AMAT 平台:Centura、Endura、Producer、ExAL(200mm/300mm 晶圆厂)。
- 先进制程节点:7nm–3nm 工艺、3D NAND 及 GAA 器件。
常见问题:
Q1:产品情况和保修如何?
A:全新正品,包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多少?是否有充足库存?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客户服务了解具体周期。
Q4:运输与物流追踪
A:提供 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号和链接。全流程由我们团队跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密部件使用木箱)。防潮、防冲击。