描述:
AMAT Inficon 真空阀是 Applied Materials (AMAT) 真空与气体输送系统中的关键任务级组件,由 Inficon 设计和制造,用于在高真空 (HV) 和超高真空 (UHV) 半导体工艺中实现可靠性能。它们用于隔离腔室、控制气体流量、保持真空完整性,并防止在刻蚀、PVD、CVD、ALD 以及 load-lock 应用中的交叉污染。常见 AMAT 零件号包括 0190-23498、0190-46389、0190-07970,以及 Inficon 型号如 VAP040-Z、VAM025A。
关键规格:
- Inficon 真空阀,Applied Materials (AMAT) 的 OEM
- 超低泄漏率 ≤1×10⁻⁹ atm·cc/s He,兼容 UHV
- 型号:VAP040-Z、VAM025A、VAH040;AMAT P/N:0190-23498、0190-46389
- 316L 不锈钢阀体,电解抛光;Kalrez®/金属密封可选
- 气动/电磁驱动;≤0.5 s 响应,≥100万次循环
应用:
- 半导体刻蚀:介电、导体及硅刻蚀腔室隔离。
- 沉积(PVD/CVD/ALD):工艺气体管路控制与 load-lock 隔离。
- 真空处理:传输腔、load lock 与泵管路隔离。
- AMAT 平台:Centura、Endura、Producer、ExAL(200mm/300mm 晶圆厂)。
- 先进制程节点:7nm–3nm 工艺、3D NAND 及 GAA 器件。
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品,包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:常规型号有库存,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认交期。
Q4:运输与追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接,全流程由我们团队跟踪。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密部件的木箱)。防潮、防冲击。