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全新 AMAT 0190-37120 ESC 电源

全新 AMAT 0190-37120 ESC 电源

全新 AMAT 0190-37120 ESC 电源

高精度，稳定性能

适用于工业自动化

现货供应 & 全球快速配送

  • 货号:

    0190-37120

  • 订单(最小起订量):

    1

  • 支付:

    100% T/T

  • 产品产地:

    USA

  • 颜色:

    As Model

  • 装运港口:

    Xiamen

  • 交货时间：

    2-3 days
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  • 产品详情

描述：

AMAT ESC 电源是一种高压、高精度电源，专为应用材料公司（Applied Materials）半导体设备中的静电吸盘（ESC）设计。它提供稳定的双极直流高压，用于在刻蚀、沉积和离子注入工艺过程中牢固夹持晶圆，从而确保极其均匀的温度与等离子体控制。作为关键的 OEM 备件，它与 AMAT 的 200mm/300mm 晶圆加工系统完全兼容，并支持在高真空、高温以及射频等离子体环境中的长期、无故障运行。
 
 
 
关键规格：
  1. 原始 AMAT 规格，机械与电气完全兼容。无需改动即可直接替换。
  2. 支持库仑型和约翰森-拉贝克（Johnsen-Rahbek，JR）两种 ESC 类型；极性可反转，便于灵活工艺调节。
  3. 节省空间的设计，具有高效率（>85%）。可轻松集成到现有设备机架中。
  4. 标准 DB9/DB15、RS-232/485 或以太网接口，用于远程监控、参数设置和数据记录。
  5. 已针对 AMAT Centura、Producer、Endura 和 Quantum 系列系统进行严格测试与认证。具有较长的 MTBF（平均无故障时间）。

 

 

应用：

  1. 刻蚀系统：Centura、Producer、ExAL
  2. 沉积系统：Precision 5000、Endura（CVD/PVD/ALD）
  3. 离子注入机：Quantum Leap、Quantum X
  4. 200mm / 300mm 晶圆厂：大规模生产与维护

 

 

常见问题：

Q1：产品状况和保修情况如何？
A：全新原装正品，包含 1 年保修。

Q2：付款条款是什么？
A：支持 T/T、PayPal。

Q3：产品的交货时间是多久？是否有充足库存？
A：标准型号有现货，付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需要向制造商订购——请联系客服获取具体时间。

Q4：运输与物流追踪
A：可使用 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及链接。由我方团队全程跟踪监控。

Q5：包装与安全

 

A：原厂包装并加强防护（泡沫、密封纸箱，精密设备使用木箱）。防潮、防冲击。

 

 

相关标签 : Industrial equipment Automation components ESC Power Supply
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