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全新 AMAT 0190-29880 ESC 电源

全新 AMAT 0190-29880 ESC 电源

全新 AMAT 0190-29880 ESC 电源

高精度,性能稳定

适用于工业自动化

现货供应 & 全球快速配送

  • 货号:

    0190-29880
  • 订单(最小起订量):

    1
  • 支付:

    100% T/T
  • 产品产地:

    USA
  • 颜色:

    As Model
  • 装运港口:

    Xiamen
  • 交货时间:

    2-3 days
  • 产品详情

描述:

AMAT ESC 电源是专为 Applied Materials 半导体设备中的静电吸盘(ESC)设计的高压高精度电源。它提供稳定的双极性直流高压,在蚀刻、沉积和离子注入过程中牢固夹持晶圆,确保超均匀的温度和等离子体控制。作为关键 OEM 备件,它与 AMAT 的 200mm/300mm 晶圆加工系统完全兼容,并支持在高真空、高温和射频等离子体环境中的长期无故障运行。
 
 
 
关键规格:
  1. 原始 AMAT 规格,完美的机械和电气兼容性。无需改造即可直接替换。
  2. 支持库仑型和 Johnsen-Rahbek(JR)两种 ESC 类型;极性可反转,便于灵活工艺调节。
  3. 节省空间的设计,高效率(>85%)。易于集成到现有设备机架中。
  4. 标准 DB9/DB15、RS-232/485 或 Ethernet 接口,用于远程监控、参数设置和数据记录。
  5. 经过严格测试并认证,可用于 AMAT Centura、Producer、Endura 和 Quantum 系列系统。具有较长 MTBF(平均无故障时间)。

 

 

应用:

  1. 蚀刻系统:Centura、Producer、ExAL
  2. 沉积系统:Precision 5000、Endura(CVD/PVD/ALD)
  3. 离子注入机:Quantum Leap、Quantum X
  4. 200mm / 300mm 晶圆厂:大批量生产与维护

 

 

常见问题:

Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含 1 年保修。

Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。

Q3:产品交期是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服了解交期。

Q4:运输与追踪
A:提供 DHL/FedEx/UPS。发货后提供快递单号 + 链接。由我方全程跟踪监控。

Q5:包装与安全

 

A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮、防冲击。

 

 

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