描述:
AMAT真空传感器是Applied Materials(AMAT)真空和过程控制系统中的关键组件,专为测量和监控粗真空、中真空、高真空以及超高真空(UHV)环境中的压力而设计。它们可确保工艺稳定性,防止交叉污染,并实现对刻蚀、PVD、CVD、ALD以及装载锁应用中的精确压力控制。常见AMAT零件号包括0190-48891、3310-00437、C190238,OEM型号来自MKS、Inficon及其他可信品牌。
关键规格:
- AMAT真空传感器,Applied Materials半导体设备的OEM。
- 精密测量:粗真空至超高真空(760–1×10⁻¹¹ Torr)范围。
- 型号:0190-48891、3310-00437、C190238;MKS/Inficon OEM。
- 316L不锈钢本体,电抛光处理;模拟/数字输出选项。
- 快速响应≤100 ms;双灯丝设计以提高可靠性。
- 适用于AMAT Centura/Endura刻蚀/PVD/CVD系统。
- 全新/翻新/测试过的库存产品,带保修。
应用:
- 半导体刻蚀:介电、导体和硅刻蚀腔室压力监测。
- 沉积(PVD/CVD/ALD):工艺气体管路和腔室真空控制。
- 真空处理:传输腔、负载锁和泵管路压力测量。
- AMAT平台:Centura、Endura、Producer、ExAL(200mm/300mm晶圆厂)。
- 先进制程节点:7nm–3nm工艺、3D NAND和GAA器件。
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品。包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有现货,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需要向制造商订购——请联系客服了解具体时间。
Q4:运输与跟踪
A:支持DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号+链接。由我们的团队进行全流程监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮与抗冲击。