描述:
AMAT ESC电源是一款高压、高精度电源,专为应用材料(Applied Materials)半导体设备中的静电吸盘(ESC)设计。它提供稳定的双极性直流高压,在刻蚀、沉积和离子注入工艺过程中牢固夹持晶圆,确保超均匀的温度与等离子体控制。作为关键OEM备件,它与AMAT的200mm/300mm晶圆加工系统完全兼容,并支持在高真空、高温及射频等离子体环境中的长期无故障运行。
关键规格:
- 原始AMAT规格,机械与电气完全兼容,无需改动即可直接替换。
- 支持库仑型与Johnsen-Rahbek(JR)两种ESC类型;极性可反转,便于灵活工艺调节。
- 节省空间设计,效率高(>85%)。可轻松集成到现有设备机架中。
- 标准DB9/DB15、RS-232/485或以太网接口,用于远程监控、参数设置和数据记录。
- 经过严格测试并认证,可用于AMAT Centura、Producer、Endura和Quantum系列系统。具有较长MTBF(平均无故障时间)。
应用:
- 刻蚀系统:Centura、Producer、ExAL
- 沉积系统:Precision 5000、Endura(CVD/PVD/ALD)
- 离子注入机:Quantum Leap、Quantum X
- 200mm / 300mm晶圆厂:大规模生产与维护
常见问题:
Q1:产品状态和保修情况如何?
A:全新正品,包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客户服务了解时间安排。
Q4:运输与物流追踪
A:支持DHL/FedEx/UPS。发货后提供快递单号+链接。由我方团队全流程跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:采用原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮、防冲击。