描述:
AMAT ESC 电源是一种高压、高精度电源,专为应用材料(Applied Materials)半导体设备中的静电吸盘(ESCs)设计。它提供稳定的双极性直流高压,在刻蚀、沉积和离子注入工艺过程中牢固夹持晶圆,确保超均匀的温度与等离子体控制。作为关键OEM备件,它与AMAT的200mm/300mm晶圆加工系统完全兼容,并支持在高真空、高温及RF等离子体环境中的长期无故障运行。
关键规格:
- 原始AMAT规格,机械与电气完全兼容。无需改装即可直接替换。
- 支持库仑型(Coulombic)和约翰森-拉贝克(Johnsen-Rahbek, JR)两种ESC类型;可反转极性以实现灵活的工艺调节。
- 节省空间的设计,具有高效率(>85%)。易于集成到现有设备机架中。
- 标准DB9/DB15、RS-232/485或以太网接口,用于远程监控、参数设置和数据记录。
- 经过严格测试并认证,可用于AMAT Centura、Producer、Endura和Quantum系列系统。具有较长MTBF(平均无故障时间)。
应用:
- 刻蚀系统:Centura、Producer、ExAL
- 沉积系统:Precision 5000、Endura(CVD/PVD/ALD)
- 离子注入机:Quantum Leap、Quantum X
- 200mm / 300mm晶圆工厂:大规模生产与维护
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品,含1年保修。
Q2:付款条款是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多少?是否有充足库存?
A:标准型号有现货,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客服确认时间。
Q4:运输与追踪
A:可使用DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码+链接。由我们的团队进行全流程监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮、防冲击。