描述:
Brooks PRI 晶圆搬运机器人控制器是由 Brooks Automation(USA)为半导体制造设计的高精度、洁净室级运动控制系统。作为 Brooks PRI 晶圆搬运机器人的核心控制单元,它们能够在半导体晶圆厂中实现对 150mm、200mm 和 300mm 晶圆的精确、可靠且无污染的搬运,是 EFEM(Equipment Front-End Module)及工艺设备自动化中的关键组成部分。
关键规格:
- 产地与应用:美国制造的控制器,专用于半导体洁净室自动化,完美适用于 150mm、200mm 和 300mm 晶圆搬运,作为 EFEM 和前端生产系统的核心控制单元。
- 高精度性能:配备多轴伺服控制与微米级定位精度,可在大气与真空环境中实现稳定、高速且无损伤的晶圆传输。
- 卓越兼容性:符合 ESD 与严格洁净室标准。支持 SECS/GEM 与 Ethernet,便于与工厂主机系统连接。
- 可靠运行:经过现场验证,可实现全天候运行。是用于维护、更换及升级旧半导体生产线的可靠且高性价比选择。
典型应用:
- 实现 FOUP 上下料及晶圆预对准自动化
- 用于蚀刻、沉积和光刻工艺中的晶圆传输
- 支持晶圆测试、检测与计量流程
- 适用于生产线、研发及试点洁净室项目
常见问题:
Q1:产品状况与保修如何?
A:全新正品,提供 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?是否有充足库存?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认交期。
Q4:运输与追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号与链接。全流程由团队监控。
Q5:包装与安全
A:采用原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮、防冲击。