描述:
Brooks PRI 晶圆搬运机器人控制器是由 Brooks Automation(美国)设计的高精度、洁净室级运动控制系统,专为半导体制造而设计。作为 Brooks PRI 晶圆搬运机器人的核心控制单元,它能够在半导体晶圆厂中实现对150mm、200mm和300mm晶圆的精确、可靠且无污染传输,是 EFEM(Equipment Front-End Module)及前端工艺设备自动化的关键组件。
关键规格:
- 产地与应用:美国制造的控制器,专用于半导体洁净室自动化,完美适用于150mm、200mm和300mm晶圆搬运,作为 EFEM 和前端生产系统的核心控制单元。
- 高精度性能:配备多轴伺服控制和微米级定位精度,可在大气和真空环境中实现稳定、高速且无损伤的晶圆传输。
- 卓越兼容性:符合 ESD 及严格洁净室标准。支持 SECS/GEM 和 Ethernet,可轻松连接工厂主机系统。
- 可靠运行:经过现场验证,可支持全天候运行。是用于维护、更换及升级旧半导体生产线的可靠且具成本效益的选择。
典型应用:
- 自动化 FOUP 装载、卸载及晶圆预对准
- 用于蚀刻、沉积和光刻工艺的晶圆转移
- 支持晶圆测试、检测和计量工作流程
- 适用于生产线、研发及试点洁净室项目
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品,包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服了解具体周期。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码+链接,全流程由我们的团队监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱)。防潮、防冲击。