描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是半导体制造设备的原装高性能 OEM 控制单元,作为等离子刻蚀、CVD/PVD 沉积和晶圆加工系统的大脑。它们按照半导体级工业标准设计,提供实时精密控制、超稳定运行,并能在 24/7 无尘室环境中实现无缝系统集成。采用坚固硬件、ECC 内存、冗余电源和先进散热设计,确保零数据丢失、工艺重复性一致,并将先进节点(2nm/3nm)晶圆制造的非计划停机降至最低。作为正品 LAM Research 零件,它们保证完美兼容、即插即用替换,并为晶圆厂的维护、升级和备件需求提供长期可靠性。
主要规格:
- 原装控制器/工业 PC,与 LAM 刻蚀机、沉积系统和晶圆加工设备 100% 兼容;出厂校准并测试。
- 专为无尘室/24/7 运行强化设计;ECC 内存、冗余电源、先进热管理;工艺控制精度 ±0.05%。
- 强大 CPU 支持复杂工艺算法;高速 I/O、双以太网及 SEMI 标准协议,实现 MES/设备的无缝集成。
- 扩展温度范围(-20°C 至 +60°C)、防尘、防振;适用于等离子、真空及高纯度工艺区。
- 模块化即插即用设计;直接替换可减少停机时间;晶圆厂、OEM 及半导体服务提供商的重要备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子刻蚀系统(Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、剥离及工艺模块
- 2nm/3nm 先进节点逻辑与存储器晶圆厂
- 半导体生产线及真空/等离子加工系统
常见问题:
问1:产品状况和保修如何?
答:全新正品,含 1 年保修。
问2:支付方式是什么?
答:支持 T/T 和 Paypal。
问3:产品交货时间是多久?库存充足吗?
答:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需厂家订货——请联系客户服务了解时间表。
问4:运输与跟踪
答:提供 DHL/FedEx/UPS 服务。发货后提供跟踪号和链接。我们的团队提供全程监控。
问5:包装与安全
答:原厂品牌包装,强化保护(泡沫、密封纸箱、精密设备用木箱)。防潮、防撞击。