描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原装高性能 OEM 控制单元,作为等离子蚀刻、CVD/PVD 沉积以及晶圆加工系统的“大脑”。它们按照半导体级工业标准制造,可在 24/7 无尘室环境中提供实时精密控制、超稳定运行以及无缝系统集成。采用加固硬件、ECC 内存、冗余电源和先进热设计,确保在先进制程(2nm/3nm)晶圆制造中实现零数据丢失、稳定的工艺重复性以及最小非计划停机。作为原装 LAM Research 备件,它们保证完美兼容性、即插即用更换以及长期可靠性,满足晶圆厂维护、升级和备件需求。
主要规格:
- 原装控制器/工业 PC,与 LAM 蚀刻机、沉积系统及晶圆加工设备 100% 兼容;经过工厂校准和测试。
- 为无尘室/24/7 运行环境加固设计;ECC 内存、冗余电源、先进热管理;±0.05% 工艺控制精度。
- 强大 CPU 支持复杂工艺算法;高速 I/O、双以太网及符合 SEMI 标准协议,实现与 MES/设备系统的无缝集成。
- 扩展温度范围(-20°C 至 +60°C),防尘、防震;适用于等离子、真空及高纯工艺环境。
- 模块化即插即用设计;直接替换可减少停机时间;是晶圆厂、OEM 及半导体服务商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子蚀刻系统(Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、剥离及工艺模块
- 2nm/3nm 先进制程逻辑与存储晶圆厂
- 半导体制造产线及真空/等离子加工系统
常见问题:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A:全新原装正品。包含 1 年质保。
Q2:What is your payment terms?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服了解具体周期。
Q4:运输与追踪
A:提供 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及链接。全流程由我方团队监控。
Q5:包装与安全
A:采用原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮防冲击。