描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是原装高性能 OEM 控制单元,用于半导体制造设备,是等离子刻蚀、CVD/PVD 沉积以及晶圆加工系统的“大脑”。按照半导体级工业标准打造,可在24/7洁净室环境中提供实时精密控制、超稳定运行以及无缝系统集成。采用加固硬件、ECC内存、冗余电源和先进散热设计,确保零数据丢失、一致的工艺重复性,并在先进制程节点(2nm/3nm)晶圆制造中最大限度减少非计划停机。作为原装 LAM Research 备件,它们保证完美兼容、易于即插即用替换,并为晶圆厂维护、升级及备件需求提供长期可靠性。
关键规格:
- 原装控制器/工业PC,与 LAM 刻蚀机、沉积系统及晶圆加工设备100%兼容;出厂校准并经过测试。
- 专为洁净室/24/7运行强化设计;ECC内存、冗余电源、先进热管理;±0.05%工艺控制精度。
- 强大的CPU用于复杂工艺算法;高速I/O、双以太网,以及符合 SEMI 标准的协议,实现与MES/设备的无缝集成。
- 扩展温度范围(-20°C至+60°C),防尘、防震;适用于等离子、真空及高纯工艺区域。
- 模块化即插即用设计;直接替换可减少停机时间;是晶圆厂、OEM及半导体服务商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子刻蚀系统(Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、去胶及工艺模块
- 2nm/3nm 先进制程逻辑与存储晶圆厂
- 半导体制造产线及真空/等离子处理系统
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3:产品交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服了解交期。
Q4:运输与物流追踪
A:支持DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码+链接。由我方团队全程监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮防撞。