描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原装高性能 OEM 控制单元,是等离子刻蚀、CVD/PVD 沉积和晶圆处理系统的“大脑”。符合半导体级工业标准,提供实时精密控制、超稳定运行,以及在 24/7 洁净室环境下的无缝系统集成。采用坚固硬件、ECC 内存、冗余电源和先进的热设计,确保数据零丢失、工艺重复性一致,以及先进节点(2nm/3nm)晶圆制造的最小意外停机时间。作为原装 LAM Research 零件,保证完美兼容、即插即用更换,以及晶圆厂维护、升级和备件的长期可靠性。
主要规格:
- 原装控制器/工业 PC,与 LAM 刻蚀机、沉积系统和晶圆处理工具 100% 兼容;出厂校准并测试。
- 为洁净室/24/7 运行加固;ECC 内存、冗余电源、先进热管理;±0.05% 工艺控制精度。
- 强大 CPU 支持复杂工艺算法;高速 I/O、双以太网及符合 SEMI 协议,实现 MES/设备的无缝集成。
- 宽温度范围(‑20°C 至 +60°C)、防尘、防振;适用于等离子、真空及高纯度工艺区域。
- 模块化、即插即用设计;直接替换可减少停机时间;晶圆厂、OEM 及半导体服务商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子刻蚀系统(Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、剥离及工艺模块
- 2nm/3nm 先进节点逻辑与存储器晶圆厂
- 半导体生产线及真空/等离子工艺系统
常见问题:
问 1:产品状态和保修如何?
答:全新正品。包含 1 年保修。
问 2:支付条款是什么?
答:支持 T/T、Paypal。
问 3:产品的交货时间是多少?库存充足吗?
答:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需厂家订购——请联系客服确认时间。
问 4:运输与追踪
答:提供 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号和链接。我们的团队全程监控物流。
问 5:包装与安全
答:原厂品牌包装并加固保护(泡沫、封箱、精密设备用木箱)。防潮防冲击。