描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原装高性能 OEM 控制单元,作为等离子蚀刻、CVD/PVD 沉积以及晶圆加工系统的“大脑”。符合半导体级工业标准设计,在24/7洁净室环境中提供实时精密控制、超稳定运行和无缝系统集成。采用加固硬件、ECC内存、冗余电源和先进热设计,确保零数据丢失、稳定工艺重复性以及在先进制程节点(2nm/3nm)晶圆制造中的最小非计划停机。作为正品 LAM Research 零部件,它们保证完美兼容、即插即用替换,以及用于晶圆厂维护、升级和备件需求的长期可靠性。
关键规格:
- 原装控制器/工业PC,与 LAM 蚀刻机、沉积系统及晶圆加工设备100%兼容;出厂校准并经过测试。
- 专为洁净室/24/7运行加固设计;ECC内存、冗余电源、先进热管理;±0.05%工艺控制精度。
- 强大CPU用于复杂工艺算法;高速I/O、双以太网以及符合SEMI标准协议,实现与MES/设备的无缝集成。
- 扩展温度范围(-20°C至+60°C),防尘、防振;适用于等离子、真空及高纯工艺区域。
- 模块化即插即用设计;直接替换可减少停机时间;是晶圆厂、OEM及半导体服务商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子蚀刻系统(Kiyo系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、去胶及工艺模块
- 2nm/3nm 先进制程逻辑与存储晶圆厂
- 半导体制造产线及真空/等离子处理系统
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品。包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品交货时间是多久?是否有充足库存?
A:标准型号有现货,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服获取具体时间。
Q4:运输与追踪
A:可选 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接。全流程由我们的团队跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮、防冲击。