描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是半导体制造设备的原装高性能 OEM 控制单元,作为等离子刻蚀、CVD/PVD 沉积和晶圆处理系统的大脑。按照半导体级工业标准制造,提供实时精确控制、超稳定运行以及在 24/7 洁净室环境中的无缝系统集成。采用坚固硬件、ECC 内存、冗余电源和先进散热设计,确保数据零丢失、工艺重复性一致,并将高级工艺节点(2nm/3nm)晶圆制造的非计划停机时间降至最低。作为正品 LAM Research 零件,它们保证完美兼容、即插即用替换以及长期可靠性,满足晶圆厂维护、升级及备件需求。
主要规格:
- 原装控制器/工业 PC,100% 兼容 LAM 刻蚀机、沉积系统及晶圆处理设备;出厂校准并测试。
- 为洁净室/全天候运行加固;ECC 内存、冗余电源、先进热管理;工艺控制精度 ±0.05%。
- 强大 CPU 支持复杂工艺算法;高速 I/O、双以太网及符合 SEMI 协议,实现 MES/设备无缝集成。
- 扩展温度范围(-20°C 至 +60°C)、防尘、防震;适用于等离子体、真空及高纯度工艺区。
- 模块化即插即用设计;直接替换可减少停机时间;晶圆厂、OEM 及半导体服务商的重要备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子刻蚀系统(Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、剥离及工艺模块
- 2nm/3nm 高级节点逻辑与存储晶圆厂
- 半导体生产线及真空/等离子体处理系统
常见问题:
问1:产品状况及保修如何?
答:全新正品。包含 1 年保修。
问2:付款条件是什么?
答:支持 T/T 和 Paypal。
问3:产品交货时间多久?库存充足吗?
答:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客户服务了解时间。
问4:运输与追踪
答:可使用 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及链接。我方团队全程监控。
问5:包装与安全
答:原厂品牌包装,强化保护(泡沫、密封纸箱,精密设备用木箱)。防潮防冲击。