描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原装高性能 OEM 控制单元,作为等离子刻蚀、CVD/PVD 沉积以及晶圆加工系统的“大脑”。它们按照半导体级工业标准打造,在 24/7 无尘室环境中提供实时精密控制、超稳定运行以及无缝系统集成。采用加固硬件、ECC 内存、冗余电源和先进散热设计,可确保零数据丢失、稳定的工艺重复性以及先进制程(2nm/3nm)晶圆制造中的最小非计划停机时间。作为原装 LAM Research 零部件,它们保证完美兼容性、即插即用式更换便利性,以及面向晶圆厂维护、升级和备件需求的长期可靠性。
关键规格:
- 原装控制器/工业PC,与 LAM 刻蚀设备、沉积系统和晶圆加工工具 100% 兼容;已在工厂完成校准与测试。
- 专为无尘室/7×24 小时运行加固设计;配备 ECC 内存、冗余电源和先进热管理;工艺控制精度 ±0.05%。
- 高性能 CPU 支持复杂工艺算法;高速 I/O、双以太网以及符合 SEMI 标准的协议,实现与 MES/设备的无缝集成。
- 宽温范围(-20°C 至 +60°C)、防尘、防振;非常适用于等离子、真空及高纯工艺区域。
- 模块化即插即用设计;可直接替换以减少停机时间;是晶圆厂、OEM 和半导体服务商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子刻蚀系统(Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、去胶及工艺模块
- 2nm/3nm 先进制程逻辑与存储晶圆厂
- 半导体制造产线及真空/等离子处理系统
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新原装正品,含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?是否有充足库存?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认时间。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号和链接。由我们团队进行全流程跟踪。
Q5:包装与安全
A:采用原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮防冲击。