描述:
LAM Research工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原装高性能OEM控制单元,作为等离子刻蚀、CVD/PVD沉积以及晶圆加工系统的“大脑”。它们按照半导体级工业标准制造,可在24/7洁净室环境中提供实时精密控制、超稳定运行以及无缝系统集成。采用加固型硬件、ECC内存、冗余电源和先进热设计,可确保零数据丢失、稳定的工艺重复性,并在先进制程(2nm/3nm)晶圆制造中最大限度减少非计划停机。作为正品LAM Research部件,它们保证完美兼容、即插即用式更换,以及在晶圆厂维护、升级和备件需求中的长期可靠性。
关键规格:
- 原装控制器/工业PC,与LAM刻蚀设备、沉积系统和晶圆加工工具100%兼容;出厂校准并经过测试。
- 专为洁净室/7×24小时运行加固设计;ECC内存、冗余电源、先进热管理;±0.05%工艺控制精度。
- 强大的CPU用于复杂工艺算法;高速I/O、双以太网以及符合SEMI标准的协议,实现与MES/设备的无缝集成。
- 扩展温度范围(-20°C至+60°C),防尘、防振;非常适用于等离子、真空和高纯度工艺环境。
- 模块化即插即用设计;直接更换可减少停机时间;是晶圆厂、OEM及半导体服务提供商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research等离子刻蚀系统(Kiyo系列等)
- CVD/PVD/ALD薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、剥离及工艺模块
- 2nm/3nm先进制程逻辑与存储晶圆厂
- 半导体制造产线及真空/等离子工艺系统
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客户服务了解具体时间。
Q4:运输与追踪
A:提供DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码+链接。全流程由我们团队监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装,配有强化保护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮与抗冲击。